导轨是测量机的导向装置，直接影响测量机的精度，因而要求其具有较高的直线性精度。在三坐标测量机上使用的导轨有滑动导轨、滚动导轨和气浮导轨，但常用的为滑动导轨和气浮导轨，滚动导轨应用较少，因为滚动导轨的耐磨性较差，刚度也较滑动导轨低。在早期的三坐标测量机中，许多机型采用的是滑动导轨。滑动导轨精度高，承载能力强，但摩擦阻力大，易磨损，低速运行时易产生爬行，也不易在高速下运行，有逐步被气浮导轨取代的趋势。目前，多数三坐标测量机已采用空气静压导轨（又称为气浮导轨、气垫导轨），它具有许多优点，如制造简单、精度高、摩擦力极小、工作平稳等.

三坐标铸铁平台一般用高强度铸铁HT200-300铸成，工作面硬度为HB170-240，经过人工退火600度-700度和自然时效2-3年后，精度稳定，耐磨性能好。三座标平板（三座标平台）的养护，由于平板固体表面较粗糙，两物体表面总是在个别点上发生接触，会产生很大的单位压力，在单位压力作用下，接触面的磨损也随磨擦力的不同而不同，合理的平板刮研接触斑点可以延长平板的使用寿命。平板材料、硬度、环境以及维护、保养等因素也会对刮研接触斑点的磨损产生不同影响，所以要定期养护。

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