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奈米3D顯微形貌快速呈現,白光干涉仪SWIM1510MS
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀結合台智公司(Carmar) 的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術,不需要複雜光路調整程序,即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析, 並追溯至ISO國際規範。
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀,具有極強的測量能力,可在幾秒內就完成整個視場的掃描,得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的
共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機快又安全,維護成本更低。
無論是拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(例如石英),只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測,應用領域包含:
u 觸控面板(Touch Panel)
u太陽能板(Solar Cell)
u晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)
u 光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)
u 微機電元件 (MEMS Components)
u 平面液晶顯示器(LCD)
u 高密度線路印刷電路板( HDI PCB )
u IC封裝( IC Package)
u 精密微機械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)
u 以及其它材料分析與元件微表面研究。
相移垂直掃描專利技術,使深度解析度達0.1nm
SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力,最高達12 um/s的垂直掃描速度,所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研、研發、生產品檢時所必備的工具。
SWIM-M系列 (通用規格)
型號 | SWIM-1510MS SWIM-1510ME SWIM-1510MZ | SWIM-2515MS SWIM-2515ME SWIM-2515MZ | SWIM-4030MS SWIM-4030ME SWIM-4030MZ | |
移動台行程 (mm) | 150 x 100 | 250 x 150 | 400 x 300 | |
機台尺寸 X/Y/Z (mm) | 510 x 560 x 900 | 570 x 670 x900 | 700 x 990 x 900 | |
機台重量 (kg) | 145 | 150 | 296 | |
載重 | 大於 10 kg | |||
Z 軸移動範圍 | 80 mm,手動粗調/細調 | |||
位置數位顯示單元 | 三軸光學尺與三軸電腦數位顯示 (解析度0.5 mm) | |||
傾斜調整平台 | 雙軸/手動 | |||
底座 | 花崗岩 | |||
高度測量 | ||||
測量範圍 | 100 mm ( 400 mm, 選配) | |||
量測解析度 | 0.1 nm | |||
重覆精度(σ) (1)
| ≦ 0.1 % ( 量測高度: > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量測高度:1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量測高度: <1 m m ) | |||
量測控制 | 自動 | |||
掃瞄速度 (mm /s) | 12 (最高) | |||
光源 | ||||
光源類型 | 儀器用鹵素(冷)光源 | |||
平均使用壽命 | 1000小時(100W) 500小時(150W) | |||
光強度調整 | 自動 /手動 | |||
資料處理與顯示用電腦 | ||||
中央處理運算單元 | 雙核心以上CPU | |||
影像與資料顯示螢幕 | 17” 液晶螢幕 | |||
存儲裝置 | 200 GB 以上硬碟機 | |||
作業系統 | WindowsXP (2) | |||
電源與環境要求 | ||||
電源 | AC110V /220V ,50Hz /60Hz | |||
環境振動 | VC-C等級以上 | |||
量測與分析軟體 | ||||
量測軟體 | ImgScan 量測軟體 : 具 VSI / PVSI /PSI 量測模式 ( PSI量測模式需另選配PSI模組搭配) | |||
分析軟體 | PostTopo分析軟體: ISO 粗糙度/階高分析,快速傅利葉轉換和濾波, 多樣的 2D和 3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析, 圖像縮放, 標準影像檔案格式轉換, 報表輸出, 程序教導量測等。 | |||