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供应白光干涉仪,纳米深度3D形状显微检测仪,SWIM1510MS
SWIM1510MS | ||||||
产品特点及用途 | ||||||
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含 | ||||||
● 晶体(Wafer) ● 光盘/硬蝶(DVD Disk/Hard Disk)) ● 平面电组件(MEMS Components) ● 平面液晶显示器(LCD) ● 高密度线路印刷电路板(HDI PCB)) ● IC封装(IC Package)) 以上其它材料分析与组件微表面研究 | ||||||
专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo) | ||||||
● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析 ● 提供自动表面平整化处理功能 ● 提供高阶标准片的软件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 ● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度 ● (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer) ● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。 ● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。 ● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 | ||||||
专业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo) | ||||||
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹 ● 垂直高度可达0.1nm ● 高度的分析算法则,让你不在苦候测量结果 ● 垂直扫描范围的设定轻松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择 ● 平台XYZ位置数显示,使检标的寻找快速又便利 ● 具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比。 ● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。 ● 具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。 ● 具有自动布补点功能 ● 可自行设定扫描方向 | ||||||
技术规格参数 | ||||||
型号 | SWIM1510MS | |||||
系统配备 | 显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人电脑 | |||||
显微镜 | 单眼显微镜(标准配件) | |||||
干涉物镜(选配) | 放大率 | 10X 20X 50 | ||||
视野( mm) | 0.5 0.25 0.1 | |||||
光学解析度(mm) | 1.12 0.84 0.61 | |||||
影像缩放 | 1.0X(标配) 0.5X(选配) | |||||
垂直扫描控制器 | 扫描范围 | 100um 400um | ||||
扫描解析度 | 0.1nm | |||||
扫描模式 | 自动 | |||||
光强度调整 | 自动/手动 | |||||
扫描速度 | 12nm/s | |||||
样品移动平台 | X、Y平面移动平面 | 150mm*100mm,手动(标准配件) | ||||
Z轴移动平台 | 80mm,手动(标准配件) | |||||
位置数位显示单元 | 三轴光学尺与三轴数位显示器(解析度 1um) | |||||
偏移调整平台 | 手动 | |||||
取像单元 | 影像感测量 | 面型CCD(标准配件) | ||||
感测器解析度 | 640*480(标准配件) | |||||
电脑配置 | Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盘 | |||||
分析软体 | MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析,快速薄利叶转换和滤波,多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等 | |||||
阶高标准片(选配) | 50nm | 170nm | 230nm | 470nm | 1800nm |
供应白光干涉仪,纳米深度3D形状显微检测仪,SWIM1510MS