直线光栅尺测量直线轴位置过程期间没有
任何其它机械传动件。因此，它能消除以
下潜在误差源：
••滚珠丝杠温度特性导致的定位误差
••反向误差
••滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差
因此，直线光栅尺已成为高精度定位和高
速加工不可或缺的必备条件。
敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测
量的机床和系统。典型应用包括：
••半导体工业的测量和生产设备
•• PCB电路板组装机
••超精密机床，例如加工光学元件的金刚
石刀具，加工磁盘端面车床和加工铁氧
体元件的磨床
••高精度机床
••测量机和比较仪，测量显微镜和其它精
密测量设备
••直接驱动
机械结构
敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅
尺和读数头，光栅尺和读数头间无机械接
触。
敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安
装面上。安装面的平面度直接影响直线光
栅尺精度。
以下以下产品信息
••高质量扫描绝对式角度编码器
••带内置轴承角度编码器
••无内置轴承角度编码器
••模块式磁栅编码器
••旋转编码器
••伺服驱动用编码器
••NC数控机床用直线光栅尺
••接口电子电路

••海德汉数控系统

绝对式位置测量
LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动
的行程达27 m内的绝对位置。其尺寸和安
装方式与LIDA 400相同。
基体和安装方式热膨胀系数
atherm
精度等级绝对式位置测量
LIC
用于绝对位置测量
钢带光栅尺穿入在铝壳中并预
紧
与安装面相同± 5 μm 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
钢带光栅尺，嵌入在安装面中 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
增量式直线光栅尺
LIP
超高精度
Zerodur玻璃陶瓷基体，嵌入
在螺栓固定在不胀的钢基座上
 0 · 10–6K–1 ± 0.5 μm3) Zerodur玻璃陶瓷光栅尺带固
定架
 0 · 10–6K–1 ± 3 μm
± 1 μm
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体
光栅带固定架
 0 · 10–6K–1 或
 8 · 10–6K–1
± 1 μm
± 0.5 μm3)
玻璃光栅尺，安装架固定 8 · 10–6K–1 ± 1 μm LIF
高精度
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基体
光栅尺，通过PRECIMET背胶
固定
 0 · 10–6K–1 或
 8 · 10–6K–1
± 3 μm LIDA
用于高速运动和大测量长度
玻璃或玻璃陶瓷光栅尺，嵌入
在安装面中
 0 · 10–6K–1 或
 8 · 10–6K–1
± 5 μm3) 钢带光栅尺穿入在铝壳中并预
紧
与安装面相同± 5 μm 钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
钢带光栅尺，嵌入在安装面中 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
钢带光栅尺穿入在铝壳中并固
定
 10 · 10–6K–1 ± 30 μm 钢带光栅尺，嵌入在安装面中 10 · 10–6K–1 ± 30 μm PP
二维坐标测量
玻璃格栅板，全表面固定 8 · 10–6K–1 ± 2 μm 1) 正弦信号周期。

它是单信号周期内误差的决定性因素（参见测量精度）。超高精度
LIP敞开式直线光栅尺的特点是测量步距
非常小、精度和重复精度非常高。 扫描方
式为干涉扫描，测量基准为DIADUR相位
光栅（LIP 281：OPTODUR相位光栅）。
高精度
LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是
SUPRADUR玻璃基体光栅，用干涉扫描方
法。特点是精度和重复精度高，安装简
单，有限位开关和回零轨。 特殊型号的
LIF 481 V可用于10–7bar的真空环境中（
参见其单独“产品信息”）。
运动速度快
LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速
度达10 m/s的高速运动应用，支持多种安
装方式，安装简单。根据相应应用要
求，METALLUR光栅的基体可为钢带，玻
璃或玻璃陶瓷。 也可有限位开关。

测量原理
测量基准
海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器
的测量基准都是周期刻线－光栅。
这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。 大长度
测量用的光栅尺基体为钢带。
海德汉公司用特别开发的光刻工艺制造精
密光栅。
•• AURODUR： 在镀金钢带上蚀刻线条，
典型栅距40 μm
••METALLUR： 抗污染的镀金层金属线，
典型栅距20 μm
••DIADUR： 玻璃基体的超硬铬线（典型
栅距20 μm）或玻璃基体的三维铬线格
栅（典型栅距8 μm）
•• SUPRADUR相位光栅： 光学三维平面
格栅线条，超强抗污能力，典型栅距不
超过8 μm
••OPTODUR相位光栅： 光学三维平面格
栅线条，超高反光性能，典型栅距不超
过2 μm
这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅
外，而且它刻制的光栅线条边缘清晰、均
匀。 再加上光电扫描法，这些边缘清晰的
刻线是输出高质量信号的关键。
母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线
机制造。
绝对测量法
绝对测量法是指编码器通电时就可立即得
到位置值并随时供后续信号处理电子设备
读取。 无需移动轴执行参考点回零操作。
绝对位置信息来自光栅码盘，它由一系列
绝对码组成。 单独的增量刻轨信号用于细
分处理后得到位置值，同时也能生成供选
用的增量信号（与接口类型有关）。
图示为带附加增量刻轨绝对式编码光栅尺